ウェハや基板のプロセス搬送および輸送中に、キャリアは外部環境による汚染や損傷を防ぐ、効果的な保護を提供します。 さらに、LOADPORTやAMHSなどのドア開閉や自動搬送機などの自動化設備との併用も可能です。