300mm FOUP(Full ESD)
- 製品説明:
搬送中および保管中の 300mm ウェーハを高効率に保護します。 優れた気密性と充填機能により、FOUP内を低湿度でクリーンな環境に維持します。 低アウトガスおよび低吸湿性の材料により、放出ガスによるウェーハ汚染のリスクを効果的に低減できます。Support仕様は、お客様のキャリアボードのサイズおよびスロット数の要望に応じてカスタマイズでき、すべてのサイズが SEMI 仕様に準拠しており。FOUP と設備間の許容性を確保するために設備パラメータの設定にもカスタマイズできます。
- 製品仕様:
- 製品: 300mm FOUP (Full ESD)
- 寸法: 長さ350.5*幅412*高さ337(mm)
- 基板: 300mm wafer
- 枚数:13pcs & 25pcs