製品説明

• 搬送中および保管中の 300mm ウェーハを高効率に保護します。 
• 当該製品は気密設計されており、容器内部のクリーン度を維持し、汚染リスクを低減します。
• Support仕様は、お客様のキャリアボードのサイズおよびスロット数の要望に応じてカスタマイズできます。
• FOUPと設備間の許容性を確保するために設備パラメータの設定にもカスタマイズできます。
  
  

製品仕様

• 収納サイズ：φ12インチ Wafer
• 収納可能枚数：13枚、25枚
• スロットピッチ：20mm