製品説明

• 薄化ウェーハ工程専用FOUP
• 本体は一体成形構造で強度の高い設計となっています。また、静電気対策を施しているため、ウェーハを静電気からも守ります。
• 市販のさまざまな形状のフォークに対応
• 反り (warpage) < 10mm
• ウェーハ厚さ 0.1～0.3mm
  
  

製品仕様

• 収納サイズ：φ12インチ Wafer
• 収納可能枚数：13枚
• スロットピッチ：20mm