製品説明

• 先進パッケージング CoWos、SoIC、HBM 工程専用FOUP
• 一体成形設計で、ダイシング・グラインディング工程で使用する鉄環を収納可能
• Load port、EFEM、AMHS などの自動化設備による搬送に対応
• エアーパージ対応
  
  

製品仕様

• サイズ：φ12インチテープフレーム
• 収納可能枚数：13枚
• スロットピッチ：10mm
• 重さ：<4kg