Tape Frame FOUP(Auto)
- 製品説明:
12インチウェーハフレーム輸送ボックス、 3 枚の容量と気密 FOUP 設計、輸送および保管中にフィルムフレームを高効率に保護できます。シェルは一体成型で静電気防止の材質を使い、ウェハの損傷を防ぐことができます。OHTやRFIDや充填機能にも対応します。OHT とLOADPORTは SEMI 規格に準拠しており、市販のLOADPORT設備に適しています。
- 製品説明:
- 製品:テープフレームFOUP(Auto)
- 寸法: 長さ 385 * 幅 392 * 高さ 196 (mm)
- 基板: 12 インチメタルフレーム
- 枚数: 13 pcs