製品説明

• 先進パッケージング工程専用FOUP
• OHTおよびスロットと一体成形の設計で、静電気拡散能力が均一かつ剛性に優れる
• Load port、EFEM、AMHS などの自動化設備による搬送に対応
• エアーパージ対応
  
  

製品仕様

• サイズ：300×300mm, 310x310mm
• 収納可能枚数：13枚
• スロットピッチ：20mm