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Panel FOUP
製品説明
輸送および保管中ABFキャリアボードを高効率に保護し、FOUP内クリーンな環境を維持します
FOUP と設備間の許容性を確保するため、設備パラメータの設定にもカスタマイズできます
エアーパージ対応
製品仕様
サイズ:510×515mm, 600x600mm, 515x620mm
収納可能枚数: 6pcs, 12pcs(standard), 16pcs(カスタマイズ)
スロットピッチ:50mm/6 slot, 25mm/12slot
重さ:≦25kg
Panel FOUP